Перегляд за автором "Kruglenko, M.P."

Результати 1-5 з 5

About influence of energy of electrons and ions on speed of electron- and ion-stimulated plasmachemical etching of silicon

Fedorovich, O.A.; Kruglenko, M.P.; Polozov, B.P. (2010)

The experimental dependence of the etching rate monosilicon of self-bias voltages on the active electrode at other constant conditions in the discharge is shows. With increasing negative bias potential monosilicon etching ...
About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields

Hladkovskiy, V.V.; Fedorovich, O.A.; Polozov, B.P.; Kruglenko, M.P. (Вопросы атомной науки и техники, 2015)

The peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors (PCR) with controlled magnetic fields have been investigated. The dependences of self-bias voltages on the values and configurations of magnetic ...
Modernized equipment for plasmachemical etching of insulation of p-n transition of photoelectric converters

Fedorovich, O.A.; Kruglenko, M.P.; Lukomskij, D.V.; Marinenko, A.A.; Polozov, B.P. (Вопросы атомной науки и техники, 2007)

Basic problems arising at the processing of the insulation of p-n transition of photo converters at the conditions of batch production with the use of the industrial plant "Carter" are determined. The way of elimination ...
Plasma technologies for manufacturing of micro-strip metal detectors of ionizing radiation

Pugatch, V.M.; Perevertaylo, V.L.; Fedorovich, O.A.; Borisenko, A.G.; Kostin, E.G.; Kruglenko, M.P.; Polozov, B.P.; Tarasenko, L.I. (Вопросы атомной науки и техники, 2007)

The manufacturing of elements of micro-strip metal detectors (MSMD) for ionizing radiation applying plasma-chemistry technologies for etching of multilayer structures is described in details. Results obtained by using ...
Technological studies of the plasmachemical reactor with сlosed electron drift

Fedorovich, O.A.; Kruglenko, M.P.; Polozov, B.P. (Вопросы атомной науки и техники, 2009)

Наведено результати технологічних випробувань плазмохімічного реактора (ПХР) з замкнутим дрейфом електронів, розробленого в ІЯД НАНУ. Досліджена залежність швидкості травлення монокремнію від робочого тиску в ПХР. ...

Результати 1-5 з 5

Пошук

Розширений пошук

Перегляд

Вся бібліотека

Перегляд за автором "Kruglenko, M.P."

Репозиторій DSpace/Manakin

Перегляд за автором "Kruglenko, M.P."

Пошук

Перегляд

Вся бібліотека

Мій обліковий запис